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MIDAS为全球领先的半导体设备供应商，多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产，并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一，拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力；并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用；以优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务，赢得了用户的青睐。
型号：MDA-80SA
厂家链接：http://www.midas-china.com.cn/
易于操作的用户界面，PLC操作与PC控制，图像抓取和数据日志，100多个程序配方，电动操纵杆控制，电动变焦显微镜和样品台
•操纵杆控制，半自动
•掩模版尺寸高达9英寸
•基板尺寸6~8英寸
•均匀光束尺寸10.25*10.25英寸
•紫外线光源：紫外线灯，2 kW
•光束波长350~450 nm
•光束均匀性<±5%
•365 nm强度~25 mW/㎠
•定位方法：操纵杆控制，半自动
•对准精度1 um
•操作模式：软、硬、真空接触和接近
•工艺分辨率：1 um@1 um PR厚度，真空接触
联系人：张垚
手机：13916855175
电话：021-56035615
邮箱：info@crosstech.com.cn
地址： 上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室
