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纳米压印系统
Midas推出了一个台式、独立的纳米压印平台。
该平台提供了一个带有微定位装置的机械平台，用于安装纳米压印室、UV固化源和校准显微镜。
它既可以作为纳米压印系统，也可以作为传统的掩模对准器，同时为您的整个压印过程提供可编程的自动控制。
独有的特点：
•分辨率低于10nm，产率为99%
•支持硬模和软模
•可变的模具和基板尺寸提供了无与伦比的便利性和灵活性
•自动释放过程可防止分离过程中模具/基板损坏，并最大限度地提高每个印记的产量
•自动释放过程可防止分离过程中模具/基板损坏，并最大限度地提高每个印记的产量
•多种应用的多功能流程：
•光学设备、显示器、数据存储、生物医学
•器件、半导体IC、化学合成和先进材料
•带触摸屏用户界面的可编程PLC允许通过定制参数进行过程控制
•专利UV固化纳米压印抗蚀剂对硬度或厚度没有限制，与传统光刻工艺兼容
联系人：张垚
手机：13916855175
电话：021-56035615
邮箱：info@crosstech.com.cn
地址： 上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室
