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MDA-40FA
操作简单，PLC操作，PC控制，图像采集和数据记录，100多个程序配方，显微镜位置控制系统，自动对齐标记搜索功能
类型：全自动
掩模版尺寸：最大5英寸
基板尺寸：2~4英寸
均匀光束尺寸：6.25*6.25英寸
紫外光源：紫外灯，350W
光束波长：350~450nm
光束均匀度<±3%
365 nm强度 ~25 mW/㎠
对齐方式：全自动
对准精度：1 um
加工方式：软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接触
MDA-60FA
操作简单，PLC操作，PC控制，图像采集和数据记录，100多个程序配方，显微镜位置控制系统，自动对齐标记搜索功能
类型：全自动
掩模版尺寸：最大7英寸
基板尺寸：4~6英寸
均匀光束尺寸：6.25*6.25英寸
紫外光源：紫外灯，350W
光束波长：350~450nm
光束均匀度<±5%
365 nm强度 ~25 mW/㎠
对齐方式：全自动
对准精度：1 um
加工方式：软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接触
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