MDA-40FA
操作简单,PLC操作,PC控制,图像采集和数据记录,100多个程序配方,显微镜位置控制系统,自动对齐标记搜索功能
类型:全自动
掩模版尺寸:最大5英寸
基板尺寸:2~4英寸
均匀光束尺寸:6.25*6.25英寸
紫外光源:紫外灯,350W
光束波长:350~450nm
光束均匀度<±3%
365 nm强度 ~25 mW/㎠
对齐方式:全自动
对准精度:1 um
加工方式:软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率:1μm@1μm PR厚度,真空接触
MDA-60FA
操作简单,PLC操作,PC控制,图像采集和数据记录,100多个程序配方,显微镜位置控制系统,自动对齐标记搜索功能
类型:全自动
掩模版尺寸:最大7英寸
基板尺寸:4~6英寸
均匀光束尺寸:6.25*6.25英寸
紫外光源:紫外灯,350W
光束波长:350~450nm
光束均匀度<±5%
365 nm强度 ~25 mW/㎠
对齐方式:全自动
对准精度:1 um
加工方式:软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率:1μm@1μm PR厚度,真空接触
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