MDA-80MS
简单的操作和安装,PLC操作与PC控制,小型半自动系统,图像抓取和数据记录,100多个程序配方
•PC控制,半自动操作
•掩模版尺寸达到9英寸
•基板尺寸为8英寸
•均匀光束尺寸8.25*8.25英寸
•光源:紫外线灯,1 kW
•光束波长350~450 nm
•光束均匀性 <±5%
•365 nm强度 ~25 mW/㎠
•手动操作
•对准精度1 um
•操作模式:软、硬、真空接触和接近
•工艺分辨率:1 um@1 um PR厚度,真空接触
•尺寸(mm):1400(宽)*1100(深)*1600(高)
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