MDE-200SC
易于操作和安装,处理各种尺寸的基板,扫描和步进式曝光
类型:扫描步进曝光
掩模版尺寸:大尺寸订制
基板尺寸:大尺寸订制
均匀光束尺寸:大尺寸订制
紫外光源:紫外灯,1KW
光束波长:350~450nm
光束均匀度 <±5%
365 nm强度 ~25 mW/㎠
对齐方式:无对准
对准精度:无对准
加工方式:软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率:2 um@1 um PR厚度,真空接触
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