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MDE-200SC
易于操作和安装，处理各种尺寸的基板，扫描和步进式曝光
类型：扫描步进曝光
掩模版尺寸：大尺寸订制
基板尺寸：大尺寸订制
均匀光束尺寸：大尺寸订制
紫外光源：紫外灯，1KW
光束波长：350~450nm
光束均匀度 <±5%
365 nm强度 ~25 mW/㎠
对齐方式：无对准
对准精度：无对准
加工方式：软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率：2 um@1 um PR厚度，真空接触
联系人：张垚
手机：13916855175
电话：021-56035615
邮箱：info@crosstech.com.cn
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