TPD系统
程序温度脱附控制系统 (TPD)
用于测量超薄薄膜吸附/脱吸的独立系统,能够在较宽温范围内进行高精度温度控制。
升级选项
磁控溅射仪
超高真空磁控溅射系统
狭缝挤出型涂布机
等离子体增强原子层沉积系
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