摩擦腔室
用于研究超高真空或大气环境条件下两个表面之间的摩擦性质
专利号 n° FR 15 55388, 标题:用于测量摩擦力的高精度装置
红外晶圆检测显微镜
芯片到芯片键合机
红外光晶圆键合检测装置
纳米级离子注入系统
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