MINILAB
小型实验室配有旋涂机、热板、去离子水系统和工艺槽。该设备能有效地对大学和研究中心的4英寸样品进行光刻。
•组成:旋涂机(Spin-1200T)、热板、D.I水系统
•排水管
•排水槽
•排气
•氮气枪
•D.I水枪
•尺寸:1300(宽)*750(深)*1800(高)
联系人:张垚
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