MDA-20FA
操作简单,PLC操作,PC控制,图像采集和数据记录,100多个程序配方,显微镜位置控制系统,自动对齐标记搜索功能
类型:全自动
掩模版尺寸:大尺寸订制
基板尺寸:大尺寸订制
均匀光束尺寸:大尺寸订制
紫外线光源:紫外线灯,2KW,5KW
光束波长:350~450nm
光束均匀度 <±5%
365 nm强度 2千瓦:~25毫瓦/㎠5千瓦:~45毫瓦/㎠
对齐方式:全自动
对准精度:1 um
加工方式:软、硬、真空接触、接近
过程分辨率:透镜:>3 um,反射镜:>9 um
联系人:张垚
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