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半导体辅助设备

  • 高温炉(氢化炉,超高真空)
高温炉(氢化炉,超高真空)

高温炉(氢化炉,超高真空)

  • 产品描述:高温炉(氢化炉,超高真空)


氢化炉



正压冷壁炉在氢气或任何高达2100°C的还原/惰性气氛中运行,是许多需要无氧环境的高温过程的理想解决方案。根据您的要求,可在几分钟或几天内轻松可靠地达到所需温度。一个标准的,可编程的鼓泡器可以用来产生湿氢,以进一步帮助清除碳氢化合物污染物时,干燥的大气是不需要的。此外,可选的加热鼓泡器和露点监测器可用于轻松实现和控制陶瓷金属化所需的较高露点。我们的大多数车型都将通过一个标准的内部门框,几乎没有解构。我们所有的炉子都是全自动的。一键按下执行:

净化(用氮气置换室内的空气)

工艺气体填充

用于工艺气体增湿的鼓泡器

PID控制升温至目标温度

浸泡

冷却

后吹扫(用氮气置换室内的工艺气体,以确保安全打开)

如果工艺允许的话,氢炉提供了一种低成本的高真空炉替代品。它们是自清洁的,运行和维护成本低廉,氢中的过程冷却是快速和可控的。尽管这些熔炉是专门为在氢气氛中安全运行而建造的,但它们同样可以在任何惰性气体或还原性气体(如氩、氮、生成气体(游离氨)、氦或任何组合中轻松运行。

真空高温炉


高真空冷壁炉操作简单,易于编程。在高真空或高达2100°C的分压环境中运行部件。根据您的要求,在几分钟或几天内轻松可靠地达到所需温度。

适用于真空清洁燃烧、活性金属(ABA®钎焊)和高度控制的真空退火。真空炉也适用于其它金属在气体中加热时反应不良的工艺,如钛或铌。对于铜和银等高真空低汽化点金属的超清洁钎焊,分压操作也是一个很好的选择。

标准涡轮分子泵是可靠的,安静和清洁。环境温度下的典型真空度为10-7托。温度下的工艺真空通常为10-6托,这取决于零件排气。如果需要更好的真空度,离子泵或低温泵可供选择。

其他选择包括:额外的测量热电偶(灵活类型的K’)以帮助过程工程,塔指示灯匹配设施要求,计算机控制,残余气体分析仪,结合氢操作,以及更多。如果您有任何特殊要求,请告诉我们,我们很高兴找到满足它们的方法。

我们所有的熔炉都内置在一个紧凑的轧制机架中,易于放置在任何生产环境、洁净室或实验室中。我们的全耐火金属热区易于疏散,并保持更长时间的清洁。完全自动,一键启动运行,无需监督。

随着生产需求的增加,我们客户可以很容易地转移到一个更大的单元和热区,具有完全相同的易于使用的编程功能和过程控制。



八元熔接站-----------完整的质量保证解决方案

该机器在高真空水冷室中有八个高电流穿导连接件,连接到由专用PC控制的独立机架式电源。客户可以在高真空下对其部件进行激发和除气,同时也可以通过所需的应力测试和正常运行。通过磨合和彻底测试这些特定的零件,并在最终组装前消除潜在的问题,客户能够大大节省其生产成本。

GVAC自动装料炉---------全机械手解决方案

全自动高真空自动装料炉。能够在高真空条件下(如有必要,可采用不同的加热方式)同时处理多达五个不同批次(最高1200°C)。零件放在旋转转盘上的钼篮中,并通过机械臂装入炉腔。完成的零件返回转盘,在高真空室中在室温下冷却,其余零件运行。

自动装料真空炉设计用于重复真空钎焊、脱气和其他工艺负载,直径可达(150 mm6英寸,深度可达(250 mm10英寸。自动装料机构和炉子控制由我们最先进的计算机控制,使用软件执行。通过250/秒涡轮分子泵将温度控制在1250摄氏度,压力范围为10-6Torr。熔炉和真空控制、泵系统和联锁装置集成在一个全自动装置中,以确保简单可靠的操作。

冷壁型,立式,顶部装载/高真空

最高温度1250℃

热区空间:直径6.5”165mm)。x 10”250毫米)深

框架尺寸:72英寸(183厘米)宽x 28英寸(72厘米)深x 60英寸(150厘米)H

电源要求:240V 160A 50 Hz12KW

控制:计算机控制,实体软件,英文版本

气体要求:25–50 psig,氮气(1/4“世伟洛克)2-3bar

压缩空气:80–100 psi1/4“世伟洛克)6bar

K”型铬/铝 热电偶

设备重量: 1000千克--1500千克

上室门,直径12“300 mm

数据采集: 计算机软件

每次运行5个样品盒

工艺容器尺寸: 5.7”145mm)直径x 6.2”160mm)高

样品盒最大允许重量2.5kg




高温时工艺真空在10–6Torr范围

室温下在10-7Torr范围

上腔室真空在5.0–4Torr范围

用户压力测量用附加法兰(NW-25

上腔室有多个窗口,用于查看产品转移和照明

产品温度监测室中的多个热电偶

冷却要求:

每分钟3加仑25 psig。注意最大背压为15 psig

升温速率每分钟50摄氏度-空室。

加热元件和隔热罩由钼制成。

标准配置:

300 LPS涡轮泵

高真空隔离阀

Triscoll 300干泵X2(粗泵和前置泵)

连铸机上的设备

计算机控制

灯塔指示灯-3

瓦特洛SD超温控制

50个项目-每个项目15个部分

全自动-一键启动运行。它会自动装载一个样品盒

泵送并切换至高真空-加热至温度并浸泡-冷却-卸载、重新加载

最多处理5个样品盒,排放到氮气中。

屏蔽式超高真空烘烤站

抽空、激发和烘烤x射线部件

一个超高真空泵和x射线管烘烤站。大型屏蔽盒,在歧管周围安装有铅窗,使用户在操作过程中可以安全地激发其部件。三级泵(干涡旋泵、涡轮分子泵和离子泵)到处都有加热带,轻松实现超高真空。



热电偶校准站

卓越的一致性和易用性

使用7个直径不超过1/4“的测试端口,该机器将测试精度为±0.25°C的热电偶。两个端口用于插入参考热电偶或光学高温计,用于基线测试。简单的微处理器控制是稳定的,易于使用,并创造一个高度可重复的环境。


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